Pokaż uproszczony rekord

dc.contributor.authorYamanouchi, Kazuhiko
dc.contributor.authorMeguro, Toshiyasu
dc.contributor.authorCho, Yasuo
dc.date.accessioned2015-12-22T07:50:57Z
dc.date.available2015-12-22T07:50:57Z
dc.date.issued1990
dc.identifier.isbn83-232-0336-9
dc.identifier.issn0867-2997
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11089/15884
dc.description.abstractNanometer electrodes of the order of 0.085 μm width have been fabricated using direct electron beam lithography, normal lift-off techniques and 0₂-plasma cleaning system. These techniques have been applied to Inter-Digital Transducers (IDТ) as surface acoustic wave (SAW) transducers in the GHz-range. We performed SAW filter experiments at GHz-range. Filters with minimum insertion loss of 16.0 dB at the center frequency of 5 GHz and 27 dB at 11 GHz were obtained.pl_PL
dc.description.sponsorshipZadanie pt. Digitalizacja i udostępnienie w Cyfrowym Repozytorium Uniwersytetu Łódzkiego kolekcji czasopism naukowych wydawanych przez Uniwersytet Łódzki nr 885/P-DUN/2014 zostało dofinansowane ze środków MNiSW w ramach działalności upowszechniającej naukę.pl_PL
dc.language.isoenpl_PL
dc.publisherWydawnictwo Naukowe Uniwersytetu im. Adama Mickiewicza w Poznaniupl_PL
dc.relation.ispartofseriesActa Physicae Superficierum;2
dc.titleGHz Range SAW Transducers Using Electron Beam Lithographypl_PL
dc.typeArticlepl_PL
dc.page.number3-7pl_PL
dc.contributor.authorAffiliationResearch Institute of Electrical Communication, Tohocu University, Sendai, 980 Japanpl_PL


Pliki tej pozycji

Thumbnail

Pozycja umieszczona jest w następujących kolekcjach

Pokaż uproszczony rekord